通过技术调研后发现 : 在整个涂覆系统中 , 裂解室与真空沉积室通过一个小口径的不锈钢管相连 , 没有明显的热传递发生。沉积室的温度与沉积室的压力有关 , 当压力较大时 , 由裂解室进入沉积室的气体量较多 , 单位时间内带入的热量较多 , 使沉积室的反应加快 , 通过沉积室悬挂温度计测定在沉积过程中温度的变化情况， 用该沉积设备进行真空涂覆不会在试件表面产生热积累 , 因此也不会打破敏感材料试件的热平衡状态。同时真空沉积腔体为不锈钢材料 , 具有良好的接地保护 , 在涂覆过程中也不会产生静电积累。因此 , 用该设备在敏感材料试件表面进行真空涂覆是安全的。
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